2023-06-16
项
目
硅片翘曲测量
检测方案
对晶圆进行对射扫描，读取上下镜头以及厚度度数，测量硅片翘曲。
1、采用D40A36R2S10镜头对样品间隔100um进行5次扫描，操作简单快速。
2、扫描过程中，采集样品的上下镜头高度数值测量值，并计算厚度数值（镜头沿Y轴方向扫描，然后平移100um，再进行相同长度的扫描，步距2um）。
3、可以通过三组数值来确定晶圆翘曲。
4、针对半透明晶圆，可以采用双波段控制器进行对射扫描。
测试结果
配置清单
项
目
芯片金线扫描
检测方案
对芯片金线进行扫描，读取横纵坐标及高度数据，绘制3D点云图。
1、采用D40A48R1S8镜头对样品间隔10um进行多次扫描，将采集点制成点云图。
2、镜头沿Y轴方向扫描，然后平移10um，再进行相同长度的扫描，步距1um。
测试结果
配置清单
